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环氧乙烷灭菌器为低温灭菌设备。环氧乙烷气体具有穿透性强，灭菌效果好的优点，是目前最主要的低温灭菌方法之一，其适用于不耐热、不耐湿的医疗器械和物品的灭菌。我院使用的是3M公司生产的5XL环氧乙烷灭菌器，经过预热、预湿、抽真空时间：约1h 15 min，维持灭菌时间为37℃／3h～55℃／1h。该灭菌器可自动抽真空、自动调节温度、自动加药、自动控制灭菌时间、自动打印灭菌程序。为判定设备运行状况是否达到灭菌规定的条件，每次灭菌都应对灭菌器进行灭菌过程监测。