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分析了铌合金硅化物涂层电子束重熔处理过程中涂层表面形貌的变化和裂纹的成因.结果表明,电子束能量密度对裂纹形成及扩展有较大影响,选用合适的电子束工艺参数,可以在硅化物涂层表面得到无裂纹的涂层.合理调节电子束能量密度以控制金属陶瓷涂层的烧结收缩作用,对金属陶瓷重熔层表面裂纹的控制有重要的意义.