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基于卷积神经网络的IC芯片图形缺陷检测方法,针对具有缺陷特征的图形图像样本集进行机器深度学习训练,可实现对IC芯片图形中如断线、起泡、腐蚀、划痕、裂纹、污染、崩边等图形缺陷的识别和区分。实验证明,这种方法可用于集成电路芯片的图形缺陷测试。
基于神经网络的IC芯片图形缺陷检测技术研究
【摘 要】
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基于卷积神经网络的IC芯片图形缺陷检测方法,针对具有缺陷特征的图形图像样本集进行机器深度学习训练,可实现对IC芯片图形中如断线、起泡、腐蚀、划痕、裂纹、污染、崩边等图形缺陷的识别和区分。实验证明,这种方法可用于集成电路芯片的图形缺陷测试。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十一研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年03期
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