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加速器具有广阔应用前景

来源 :国际学术动态 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsks1848

【摘 要】

：

笔者参加了1998年11月4～7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅

【作 者】

：

柳百新 

【机 构】

：

清华大学材料工程系

【出 处】

：

国际学术动态

【发表日期】

：

1999年5期

【关键词】

：

加速器 国际会议 金属硅化物 金属蒸汽真空弧离子源 金属离子注入 离子束 导电性 合成 加州大学 材料改性 

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笔者参加了1998年11月4～7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅化物"的邀请报告。众所周知,1985年美国学者,加州大学的Prof.I.Brown发明了金属蒸汽真空弧离子源(简称MEVVA源)。它能提供几乎所有的金属离子,

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