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利用四极杆质谱仪研究了Ar／O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时，离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化，其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩，变得不明显。Ar^＋离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子，其平均能量比O2^＋离子的稍低。增大氧气含量，电离率增大，Ar^＋离子和O2^＋离子的高低能峰均向高能区移动，最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar^＋离子的平均能量均低于O2^＋离子。