样品倾斜对硅酸钙EDS分析的影响

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通过模拟和实例,分析了在SEM上用EDS研究硅酸三钙时样品倾斜对分析结果的影响程度。样品分别在x与x′两个轴上倾斜,倾斜角α从-15°到+80°。同时观察了对称样品正负角度的综合影响,指出了用EDS研究原始断面的局限性。 Through simulations and examples, the degree of influence of sample tilt on the analytical results when using EDS to study tricalcium silicate on SEM was analyzed. The samples were tilted on the x and x′ axes, respectively, and the tilt angle α was from -15° to +80°. At the same time, the combined effects of the positive and negative angles of the symmetrical samples were observed, and the limitations of the EDS on the original section were pointed out.
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