三甲胺[N(CH3)3]MIS传感器的研制

来源 :湛江海洋大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:achiao172
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研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟杂质的TiO2材料作溅射靶,采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜。用常规蒸铝技术和光刻技术制成MIS结构2。结果表明:在1MHz的测试频率下,当三甲胺浓度从0变化到0.1%,时电容发生了250%的变化。在3V的偏压下,电流改变了450%,直接用鲜鱼测试时,在25h内该结构的电容和电流的响应很敏感,且接近线性关系。
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