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针对目前超精密圆柱滚子加工精度和一致性很难保证的问题,提出了利用行星式双平面研磨方式进行圆柱滚子的加工方法。同时对该方法的加工原理进行分析以及对保持架进行了模态仿真。在研究了圆柱滚子双平面加工运动轨迹基础上,发现靠近研磨盘中心以及研磨盘边缘的轨迹线分布比较集中,而靠近研磨盘中间环带部分的轨迹线分布较为均匀。据此设计并加工了实验装置,采用基于双平面轨迹均匀方法进行超精研磨和抛光。实验研究表明,工件的圆度误差达到了0.295μm,批直径变动量达到了1μm,表面粗糙度Ra达到了0.054μm,圆柱滚子的表面质量