【摘 要】
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介绍了磁控溅射镀膜技术和参数变化对Nb膜表面形貌、内部应力、超导特性的影响。探讨了制备高质量铌膜所需的最佳溅射参数。
The effects of magnetron sputtering coating
【机 构】
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中国地质大学(北京)物理实验中心,
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介绍了磁控溅射镀膜技术和参数变化对Nb膜表面形貌、内部应力、超导特性的影响。探讨了制备高质量铌膜所需的最佳溅射参数。
The effects of magnetron sputtering coating technology and parameters on the surface morphology, internal stress and superconductivity of Nb films were introduced. The optimum sputtering parameters for preparing high quality niobium films are discussed.
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