【摘 要】
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本文简述了α风险和β风险的概念并阐述了检测机台的捕获率,重复性以及晶片抽样区域对这些风险的影响.加州大学伯克利分校和KLA-Tencor公司联合开发的统计模型可用来显示缺陷
【机 构】
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本文简述了α风险和β风险的概念并阐述了检测机台的捕获率,重复性以及晶片抽样区域对这些风险的影响.加州大学伯克利分校和KLA-Tencor公司联合开发的统计模型可用来显示缺陷偏移成本作为捕获率和批量抽样的函数呈指数规律降低.最低总成本(偏移加资本)通常发生在25%和50%的批量抽样率之间.最后,它显示有两个主要因素可决定特定缺陷偏移的财务影响:偏移的量值和探测它的能力.实际上,极弱的偏移因为很难被探测,所以尽管其对每个晶片的良率影响相对较小,但会持续很长时间,因而可能造成最严重的财务影响.这种极弱的偏移只有使用捕获率非常高的检测机台才能有效探测.
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