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实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性，而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响，在对这些参数优化的基础上，研制了出具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓度的关系，初步讨论了元件对Ｏ３气体敏感的机制。
WO3对O3敏感特性研究
【摘 要】
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实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性，而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响，在对这些参数优化的基础上，研制了出具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓
【机 构】
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云南大学佐波传感技术研究中心,云南大学实验中心
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1999年5期
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