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WO3对O3敏感特性研究
WO3对O3敏感特性研究
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luo_yu
【摘 要】
:
实验发现WO3半导体材料对O3有好的敏感特性,而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响,在对这些参数优化的基础上,研制了出具有较好特性的O3气敏元件。测定了元件灵敏度与O3浓
【作 者】
:
杨留方
袁波
【机 构】
:
云南大学佐波传感技术研究中心,云南大学实验中心
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1999年5期
【关键词】
:
半导体
臭氧传感器
三氧化镍
臭氧
敏感特性
WO3 Semi-conductor
Sintering Temperature
Chemisorption
O3
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实验发现WO3半导体材料对O3有好的敏感特性,而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响,在对这些参数优化的基础上,研制了出具有较好特性的O3气敏元件。测定了元件灵敏度与O3浓度的关系,初步讨论了元件对O3气体敏感的机制。
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