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期刊论文
高温超导台阶结的研究
高温超导台阶结的研究
来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianxiaxjb
【摘 要】
:
在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结,采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶,结的特性与SNS结类似,9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro
【作 者】
:
曹春海
杨名
杨森祖
徐筱乐
尤立星
吉争鸣
康琳
许伟伟
【机 构】
:
南京大学电子科学与工程系,南京电子器件研究所
【出 处】
:
低温物理学报
【发表日期】
:
2003年A01期
【关键词】
:
铝酸镧衬底
高温超导台阶结
金属转移剥离技术
离子铣技术
超导约瑟夫逊隧道结
微电子器件
【基金项目】
:
国家重点基础研究发展规划项目 (G19990 646),,国家高技术研究发展计划资助的课题~~
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在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结,采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶,结的特性与SNS结类似,9.5GHz的微波辐照下出现Shapiro台阶,观察到结的高频响应有一温度窗口。
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