【摘 要】
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研究了以聚酰亚胺为基板的p型低温多晶硅薄膜晶体管在不同弯曲半径下的偏压稳定性。当曲率半径从15 mm变到3 mm时,在拉伸弯曲状态下,阈值电压和平坦时保持一致（Vth=-1.34 V）,迁
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院,上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室,上海天马微电子有限公司
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研究了以聚酰亚胺为基板的p型低温多晶硅薄膜晶体管在不同弯曲半径下的偏压稳定性。当曲率半径从15 mm变到3 mm时,在拉伸弯曲状态下,阈值电压和平坦时保持一致（Vth=-1.34 V）,迁移率μsat从45.65 cm^2/（V·s）降到45.17 cm^2/（V·s）,开关比增大;在压缩弯曲状态下,转移特性曲线和平坦状态保持了非常好的一致性。在最小弯曲半径为3 mm时,进行了正负偏压稳定性测试,结果表明,器件依然具有很好的稳定性。
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