【摘 要】
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分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的
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分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控.并提出了一种合适的工艺流程监控策略,阐述了如何从软件上确保工艺流程的连续可靠运行.实践证明,软硬件系统设计合理、抗干扰措施完善,很好地保证了工艺流程的连续可靠运行,实验数据的可靠性和工艺流程的可重复性也大大提高,并对类似系统的工艺过程自动化设计具有一定的指导借鉴意义.
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