TiN／Si3N4纳米多层膜的生长结构与超硬效应

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wohao1025

【摘要】

：

采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层

【作者】

：

胡晓萍董云杉孔明李戈扬顾明元

【机构】

：

上海交通大学

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

TiN/Si3N4纳米多层膜 Si3N4晶化外延生长超硬效应 TiN/Si3N4 nanomultilayers Crystallization of S

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层厚对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明:当Si3N4层厚小于0.7 nm时,原为非晶的Si3N4在TiN的模板作用下晶化并与之形成共格外延生长的柱状晶,使TiN/Si3N4多层膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应.最高硬度和弹性模量分别为34.0 GPa和353.5 GPa.当其厚度大于1.3 nm时,Si3N4

其他文献

论培土生金法在肺癌治疗中的地位和作用

肺癌晚期常见脾虚证候,对肺癌的预后有重要的影响。培土生金法涵盖了重在脾阳的健脾法和重在脾阴的滋脾法,以培土生金为主的治法可提高患者生存质量、延长生存期,可作为晚期

期刊

肺癌培土生金法脾虚中医药疗法Lung cancer Strengthen earth to generate metal Deficiency of s

补中益气汤治疗重症肌无力1例报告

以健脾益气为法，运用补中益气汤加味治疗重症肌无力患者1例，取得显著疗效。

期刊

重症肌无力中气下陷补中益气汤

类单晶氧化锌纳米棒的制备与表征

用简单的无催化剂、高温热蒸发方法制备氧化锌纳米棒,得到了具有良好晶体结构和规则外形的ZnO纳米棒,长度为(1-5)μm,直径约几十纳米.测量了ZnO纳米棒的光致发光特性.讨论了

期刊

类单晶氧化锌纳米棒制备工艺晶体结构光致发光特性生长机理半导体ZnONanorodsGrowth conditionGrowth mechani

“大智移云”背景下企业财务管理研究

“大智移云”这一概念是随着我国经济和科技快速发展下所提出的新型概念,在当前所有人都意识到互联网时代已经到来,这是不可以逆转的时代改变,并且这种概念的提出也并非是一

期刊

大智移云企业财务管理财务建设

关于在高校成立班级党章学习小组的思考

深入学习《中国共产党章程》是加强党的基础知识和基本理论学习的重要内容，也是加强党员教育和培养入党积极分子的重要环节，对于学生党员加强党性修养，入党积极分子加深对党的认

期刊

高校班级党章学习小组

Evaluation of Germplasm Using SSR Markers of Functional Genes in Rice

16 SSR (Simple sequence repeats) primers of functional genes in rice were used to detect genetic diversity among 23 accessions of rice germplasm from 5 countrie

期刊

RiceSSRCLUSTERanalysisRice SSR Cluster analysis

黄药子的生药研究

文章介绍了非黄药子正品入药的几种植物，阐述了黄药子的显微粉末鉴别，理化鉴别和浸出物测定方法等。

期刊

黄药子生药学

长汀县人大开展养老工作调研

<正>本刊讯(通讯员陈发明)10月8日,长汀县人大常委会对全县养老工作进行调研。调研组到县福利中心,新桥镇、南山镇、馆前镇敬老院,古城镇丁屋岑瑞华老人食堂,大同镇幸福园等

期刊

长汀县床位利用率

通络饮治疗湿热阻络型活动期类风湿性关节炎40例临床观察

目的：观察通络饮治疗湿热阻络型活动期类风湿性关节炎的临床疗效。方法：将80例湿热阻络型活动期类风湿性关节炎患者随机分为治疗组、对照组各40例。治疗组用通络饮治疗，对照组用