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硅芯在制造过程中和在还原炉初期沉积过程中不同程度受到杂质的污染,本论文针对硅棒生长过程中硅芯部位杂质来源,从石墨部件、惰性气体、硅芯制备工艺、洁净操作等各个环节的杂质污染情况着手试验研究,找到电子级多晶硅硅芯杂质的主要来源。
电子级多晶硅生产中硅芯杂质的来源
【摘 要】
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硅芯在制造过程中和在还原炉初期沉积过程中不同程度受到杂质的污染,本论文针对硅棒生长过程中硅芯部位杂质来源,从石墨部件、惰性气体、硅芯制备工艺、洁净操作等各个环节的
【机 构】
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青海黄河水电公司新能源分公司,青海省新能源材料与储能技术重点实验室
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2020年31期
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