论文部分内容阅读
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题.
溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究
【摘 要】
：
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关
【机 构】
：
哈尔滨工程大学,黑龙江大学,哈尔滨工程大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2004年9期
【基金项目】
：
黑龙江省科研项目
其他文献
目的：提高胃十二指肠溃疡穿孔患者的临床护理质量。方法：对40例胃十二指肠溃疡穿孔患者的临床护理资料进行记录、整理、分析。结果：40例穿孔患者全部治愈。结论：优质高效的护理可
针对气隙扰动是影响基于逆磁致伸缩效应磁头型扭矩传感器的输出和灵敏度的主要问题,提出了一种利用电路进行气隙补偿的方案,并利用在旋转轴表面粘贴非晶合金薄带层的方法,实
关于用药差错目前国际上还没有统一的定义，一般是指在药物治疗中，由于疏忽或不能控制的因素引起的非常规行为以及由此导致不能达到预期结果或产生伤害的行为。美国国家协调工作
通过文献资料法、调查问卷法等对学生课外体育活动运动损伤情况调查分析,力图摸清学生在课外体育活动中发生运动损伤的情况,找出引发运动损伤的原因,并就如何减少运动损伤的
信息产业部经济体制改革与经济运行司近日发布”2003年电子信息产业经济运行统计公报”。公报显示，2003年我国电子信息产业产销继续保持快速发展，产业结构不断调整，经济效益继续
论述了以通用分组无线业务(GPRS)网络为通信平台的远程无线测控系统的设计与实现.结合IEEE1451.2标准的智能传感器,提出了基于TCP/IP协议的无线网络化智能传感器的概念,给出
人类和非人类脊椎动物利钠肽家族（NP）包括A型（ANP）、B型（BNP）、C型（CNP）、D型（DNP）、V型（VNP）利钠肽和肾型肽尿扩张素。其受体有3种，其中受体A和B作为鸟苷酰环化酶配对受体起生物学效应，受