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本文介绍了椭偏光谱仪的构造以及用这种装置对两种材料表面进行分析,其结果与国外文献所报道的用其它类型椭偏光谱仪所测得的结果完全一致,说明该装置完全可用。又因椭偏光谱分析法具有快速性和非破坏性的优点,因而可将它广泛地应用在材料鉴别及生产过程的监控上.
材料表面性质的椭偏光谱分析法
【摘 要】
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本文介绍了椭偏光谱仪的构造以及用这种装置对两种材料表面进行分析,其结果与国外文献所报道的用其它类型椭偏光谱仪所测得的结果完全一致,说明该装置完全可用。又因椭偏光谱
【机 构】
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鞍钢工学院
【出 处】
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鞍钢技术
【发表日期】
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1990年3期
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