氧化钙和氯氧化钇为助烧剂对碳化硅陶瓷性能的影响

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采用YOCl/CaO为助烧剂常压烧结制备SiC陶瓷,研究助烧剂的配比及烧结温度对陶瓷的显微结构、热学性能及介电性能的影响。结果表明:在高温烧结过程中YOCl及CaO会与SiC发生置换还原反应,生成部分含钇化合物,对比各样品的热膨胀系数发现,在1800℃下烧结的YOCl/CaO=4∶5的样品与常压烧结制备的纯SiC热膨胀系数α=4.0×10-6相接近,而其它样品热膨胀系数与单晶硅的热膨胀系数α=2.62×10-6较为接近,有望成为较好的封装材料。
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