一种多用途的扫描曝光系统

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一、引 言 随着现代光学的重要组成部分──光学信息处理的发展及其多方面的应用,光学滤波元件的种类越来越多其结构也更加复杂[1],例如,振幅滤波器,相位滤波器以及Kinoform 型光学元件等.它们的共同特点是取样点多,取样面积小,数据要求严格,因此目前还没有制备滤波元件的专门 I. INTRODUCTION With the development of optical information processing and its multi-faceted application, an important part of modern optics, the types of optical filtering components are more and more complicated. For example, the amplitude filter, phase Filters and Kinoform type optical components, etc. Their common feature is the sampling point, sampling area is small, the data stringent requirements, so there is no special filter element
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