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<正> 1、绪言在元素周期表Ⅲ—Ⅴ族化合物之一氮化铝膜是压电性电介体,而且,因为轻元素能有牢固的结合,音速大,作音响材料,在弹性表面波和光集成电路领域也被受重视。因为这种AlN膜有密集六方晶格,在和C
利用反应性离子镀定向形成氮化铝薄膜
【摘 要】
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<正> 1、绪言在元素周期表Ⅲ—Ⅴ族化合物之一氮化铝膜是压电性电介体,而且,因为轻元素能有牢固的结合,音速大,作音响材料,在弹性表面波和光集成电路领域也被受重视。因为这
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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国外金属热处理
【发表日期】
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1992年4期
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