温度对Ar^+诱导Au—Si界面原子混合的影响

来源 :原子与分子物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:storm369
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本文在77至573K温区研究了Ar<sup>+</sup>诱导的Au-Si【111】界面的原子混合现象。温度对混合结果有强烈的影响。Q<sub>(S)<sub>i</sub></sub>—T曲线的特征与Cr-Si等体系是不同的;得到了具有确定组份比的Au<sub>48</sub>Si<sub>51</sub>(≈AuSi)均匀混合层;T】32℃时,深入到Si中的Au原子呈指数衰减的尾巴,
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