【摘 要】
：
一、前言随着器件的高集成化、高速化和高功能化，器件表面台阶越来越陡峭。特别是进入亚微米时代，由于微细化和高电流密度的要求，金属布线的纵横尺寸比明显增大。所以，在扩展光刻
论文部分内容阅读
一、前言随着器件的高集成化、高速化和高功能化，器件表面台阶越来越陡峭。特别是进入亚微米时代，由于微细化和高电流密度的要求，金属布线的纵横尺寸比明显增大。所以，在扩展光刻极限的同时，从提高产品成品率、可靠性上来说，平坦化技术是一项极为重要的技术课题。图1示出
I. INTRODUCTION With the high integration, high speed and high function of the device, the surface of the device is steeper and steeper. Especially into the submicron era, due to the requirements of miniaturization and high current density, the aspect ratio of the metal wiring is significantly increased. Therefore, while extending the lithography limit, flattening technology is an extremely important technical issue to improve product yield and reliability. Figure 1 shows
其他文献
目的 探讨喉神经内分泌癌的临床病理特征,对其诊断和鉴别诊断进行讨论.方法收集临床相关资料,采用常规HE切片、免疫组化等方法对喉神经内分泌癌分析研究.结果喉神经内分泌癌分高分化、中分化、低分化,最常见的免疫表达蛋白是CK和ChgA,其次有NSE,Syn,EMA,CEA和降钙素.结论喉神经内分泌癌为一种极少见的肿瘤,根据其组织学改变和免疫组化染色结果,可与其他喉部肿瘤鉴别.掌握组织学分类有助于临床的正
学习一门新语言不是轻而易举的事,枯燥的教学只会让学生对英语学习望而却步。兴趣则可以唤起学生废寝忘食的钻研劲头,成为打开成功大门的钥匙。如何培养小学生学习英语的兴趣
在设法规避笔记本电脑同质化的过程中,业界厂商们一方面在探寻诸如Tablet PC等全新的设计理念,另一方面依然要沿着传统的发展思路走,那就是从各个部件的性能提升入手不断取得
据计世资讯预测,2003年中国激光打印机市场销量将比2002年增长21.5％,增长的驱动力之一来自于A3幅面打印机向办公等领域的不断渗透。在激光打印机市场坐头把交椅的HP公司经过周
初中是衔接小学与高中教学的过渡阶段,在这一阶段,学生的思维方式、学习习惯等各个方面,都需要逐渐开始转变,以适应高中阶段内容多、难度高的教学。语文作为我国的母语,在整
暑假里的天中午,妈妈车带我到利民桥北的家牛肉汤馆吃牛肉汤。路上,妈妈在聚精会神地车,我呢,惬意地欣赏着窗外的风景。不会儿,车到了十字路口,妈妈见是红灯,就停了下来,耐心
在武夷山许多奇峰削壁的岩洞里,存放有一些年代相当久远的船棺。1973年和1978年,福建省博物馆、厦门大学历史系和崇安县文化馆等单位,先后发现了两具。前者取自武夷山观音岩
本专利介绍一种用于提供灰度标的绞合铁电液晶(FLC)调制器,虽然其基本的铁电液晶电光效应比绞合向列效应快,但是它是二元的。本
This patent describes a stranded ferroel
杉木为我省速生用材林主要造林树种.解放后,造林保存而积约300多万亩.其中,大多已属成林阶段,迫待抚育间伐,有的急需改造.为提高杉木中幼林抚育问伐和低产林改造的质量,开创
20年的军旅生活,10年的控告申诉检察生涯,年近50的他先后接待来访群众1800余人次,处理来信500余件,都能依法给予妥善处理。他曾经3次受到市院、市委的嘉奖,4次被评为优秀共产