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<正> 虽然几年前就预测光刻将停止使用并由电子束代替它,但光刻仍可作为微型化的关键技术,没有它集成电路总是提高的集成密度和复杂性几乎是不可能的。新建的股份公司卡尔蔡司半导体制造技术公司于2001年10月才由半导体技术业务部门建立了一座物镜生产新工厂。卡尔蔡司公司为新的生产工厂总
明天的芯片生产技术
【摘 要】
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<正> 虽然几年前就预测光刻将停止使用并由电子束代替它,但光刻仍可作为微型化的关键技术,没有它集成电路总是提高的集成密度和复杂性几乎是不可能的。新建的股份公司卡尔蔡
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2003年5期
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