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二元光学元件——微透镜
二元光学元件——微透镜
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzs0901
【摘 要】
:
介绍了二元光学的产生和发展,着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用.
【作 者】
:
孔令彬
易新建
陈四海
【机 构】
:
中国地质大学机电工程系,华中科技大学光电子工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
二元光学元件
微透镜
衍射效率
点扩散函数
蚀刻
binary optics
microlenses
diffractive efficiency
poi
【基金项目】
:
国家高技术研究发展计划资助项目,国家自然科学基金资助项目(60086003)
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介绍了二元光学的产生和发展,着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用.
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