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首先介绍了以DSP为核心搭建的扫描探针显微镜（SPM）的硬件基础,进而利用DSP代替模拟PID控制器的常规电子线路,并采用相应PID软件程序的控制,从而实现了针对于SPM系统的数字PID控制方案。该控制方案使得SPM在扫描过程中可以通过自定义算法来进行信号控制和调节,从而克服了以往模拟量PID控制系统灵活性差、不易维护和升级等缺陷。