氮化钛薄膜光学性质的研究进展

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介绍了拟合氮化钛薄膜光学常数常用的色散模型,且结合第一性原理计算出的能带结构和态密度给予阐述;概括了氮化钛在表面等离子体共振方面的研究进展和掺杂对于氮化钛薄膜光学性能的影响;并且指出了氮化钛在节能镀膜玻璃方面的应用。 The dispersion model used to fit the optical constants of titanium nitride thin films is introduced. The energy band structure and density of states calculated by the first principle are introduced. The research progress and doping of titanium nitride on surface plasmon resonance On the optical properties of titanium nitride film; and pointed out the application of titanium nitride in energy-saving coated glass.
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