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通过磁控溅射方法在不同基片温度下制备了B4C薄膜，利用傅立叶红外光谱、X射线衍射、透射电子显微镜表征了薄膜的微结构，并采用纳牛力学探针测量了薄膜的力学性能。结果表明，室温下制备的B4C薄膜具有很高的硬度（42.5GPa）和杨氏模量（300GPa)，薄膜呈现非晶或纳米晶特征。随基片温度的提高，薄膜略有晶化，硬度与杨氏模量相应增加到50.4GPa和420GPa。