应用修正Stoney公式原位测量硅薄膜电极中的锂化应力

来源 :中国科学技术大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenchao198339

【摘要】

：

结合Stoney公式的多光臂应力测量方法能够有效检测出薄膜电极在充放电过程中的平均应力.然而,经典Stoney公式仅适用于低应力水平的情况.运用修正的Stoney公式考虑了硅电极材

【作者】

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刘佩琳陆宇阳郑东昌何陵辉倪勇

【机构】

：

中国科学院材料力学行为和设计重点实验室

【出处】

：

中国科学技术大学学报

【发表日期】

：

2020年12期

【关键词】

：

修正Stoney公式有限元分叉应力塑性大变形 modified stoney formula finite element analysis bifu

【基金项目】

：

the National Natural Science Foundation of China(11672285),the Strategic Priority Research Program of the Chinese Academy of Sciences(XDB22040502),China Postdoctoral Science Foundation(2018M642532),th

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结合Stoney公式的多光臂应力测量方法能够有效检测出薄膜电极在充放电过程中的平均应力.然而,经典Stoney公式仅适用于低应力水平的情况.运用修正的Stoney公式考虑了硅电极材料力学性质的变化和基底曲率剧烈变化情况下电极薄膜中应力的演化规律.基于应力和扩散相互耦合的三维非线性有限元模型,验证了修正Stoney公式的准确性.进一步,讨论了曲率分叉出现的条件,确保使用修正的Stoney公式时避免出现曲率分叉行为.

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