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针对传统电感传感器及其测量系统难于同时满足测量精度和采样速度的现状,提出一种适合动态位移超精测量方法.采用半桥式电感传感器作测量探头,利用集成信号调理电路和Δ-Σ型AD转换器,将高速过采样和平均滤波有机融和,实现了动态微位移的精密测量.实验结果表明,该方法在保障100Hz速度的前提下,测量稳定性优于±0.01μm.