【摘 要】
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采用脉冲电弧沉积技术制备了TiSiN涂层,研究了不同沉积参数(负偏压、靶电流及脉宽)对涂层结构和性能的影响。利用电子能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、划痕仪等对涂层成分、结构、力学性能及结合力等参数进行了表征。结果表明,负偏压的增大引起TiSiN涂层内应力增大,表面刻蚀效果增强,涂层表面粗糙度上升且涂层硬度下降。靶电流的增加使涂层沉积速率上升,涂层表面大颗粒增加,粗糙度上升。脉宽减少后涂层内应力下降,涂层硬度从31 GPa升至40 GPa,涂层结合力得到增强。通过优化脉冲电弧沉积参数,适当采用低负偏压、低
【机 构】
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广东工业大学,广东鼎泰高科技术股份有限公司
【基金项目】
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企业横向项目(607200040)。
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采用脉冲电弧沉积技术制备了TiSiN涂层,研究了不同沉积参数(负偏压、靶电流及脉宽)对涂层结构和性能的影响。利用电子能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、划痕仪等对涂层成分、结构、力学性能及结合力等参数进行了表征。结果表明,负偏压的增大引起TiSiN涂层内应力增大,表面刻蚀效果增强,涂层表面粗糙度上升且涂层硬度下降。靶电流的增加使涂层沉积速率上升,涂层表面大颗粒增加,粗糙度上升。脉宽减少后涂层内应力下降,涂层硬度从31 GPa升至40 GPa,涂层结合力得到增强。通过优化脉冲电弧沉积参数,适当采用低负偏压、低
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