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报道了以TiCl4和V2O5为源,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了TiO2/V2O5双层薄膜,将该薄膜沉积到带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上,进行了X射线衍射(XRD)分析,并且测量其对三甲基胺(TMA)的气敏特性。结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性。