【摘 要】
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为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度,设计了铜基表面增强拉曼散射(surface enhanced Raman scattering,SERS)薄膜基底.以Cu40Ti60合金为靶材,通过控制磁控溅射参数获得了一系列
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,上海,200093;上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海,200093;上海大学 材料基因组工程研究院,上海,200041;
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为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度,设计了铜基表面增强拉曼散射(surface enhanced Raman scattering,SERS)薄膜基底.以Cu40Ti60合金为靶材,通过控制磁控溅射参数获得了一系列铜钛合金薄膜,采用脱合金法进一步获得了不同结构的铜基薄膜,系统地研究了不同溅射参数对铜基薄膜的SERS特性的影响,确定了制备SERS基底的最佳溅射参数.脱合金后所得铜膜具有多孔结构,能形成高强度局域电磁场,即SERS热点(hotspots),从而表现出优异的SERS增强性能.该基底制备成本低,重复性好,能用于灵敏检测且SERS增强因子可达1.8×107,具有较好的应用前景.
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