APS图形对准测试仪通过部局鉴定

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由沈阳仪器仪表工艺研究所承担的国家“八五”重点科技攻关项目之一的APS图形对准测试仪(编号为85—721—03—02/01)于1993年12月24日顺利通过部局鉴定。 该测试仪主要适用于对力敏传感器中的核心元 The APS Pattern Alignment Tester (No. 85-721-03-02 / 01), one of the national “Eighth Five-Year Plan” key scientific and technological projects undertaken by Shenyang Institute of Instrumentation and Technology, passed the ministry on December 24, 1993 Identification. The tester is mainly applied to the core element of the force-sensitive sensor
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