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期刊论文
集成电路工艺化学品标准体系探讨
集成电路工艺化学品标准体系探讨
来源 :信息技术与标准化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:catshadow6
【摘 要】
:
通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状,重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展,并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架。
【作 者】
:
付雪涛
【机 构】
:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组
【出 处】
:
信息技术与标准化
【发表日期】
:
2013年Z1期
【关键词】
:
化学品
集成电路
标准体系
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通过介绍化学品在集成电路工艺中的应用和我国集成电路工艺化学品产业现状,重点阐述了集成电路工艺化学品标准化进展,并提出了集成电路工艺化学品标准体系框架。
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