高温超导红外探测器的电极工艺探讨

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介绍了高温超导红外探测器电极材料的选择和制备。选用先蒸银、后蒸金,再合金化的电极工艺。芯片装配成器件后,器件性能稳定,膜层牢固,接触电阻小。 The selection and preparation of electrode materials for high temperature superconducting infrared detectors are introduced. The first choice of steamed silver, steamed gold, then the alloy electrode technology. After the chip is assembled into a device, the device has stable performance, firm film and low contact resistance.
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