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在新型薄膜材料的制备中，利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源，辅助和诱导气相反应制备薄膜材料，克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足，显著地提高了薄膜的沉积效果。
高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用
【摘 要】
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在新型薄膜材料的制备中，利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源，辅助和诱导气相反应制备薄膜材料，克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足，显著地提
【机 构】
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常州机电职业技术学院模具技术系
【出 处】
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安徽冶金科技职业学院学报
【发表日期】
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2006年3期
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