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本文首先概要说明了长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的选择方法 次说明了大型工具显微镜数字化技术改造的设计方案，以及实施中应注意的几个问题。
大型工具显微镜的数字化技术改造
【摘 要】
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本文首先概要说明了长光栅位移传感器的工作原理和主要技术参数的选择方法 次说明了大型工具显微镜数字化技术改造的设计方案，以及实施中应注意的几个问题。
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1998年3期
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