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文章从物理统计规则观点出发，研究了微观溅射粒子的动力学沉积过程，着重考虑到真空度、基片温度、溅射角度等因素对沉积的影响，模拟研究了Ｂ．Ａ．Ｍｏｖｃｈａｎ－Ａ．Ｖ．Ｄｅｍｃｈｉｓｈｉｎ的溅射微观结构关系图。
溅射薄膜的B.A.Movchan—A.V.Demchishin微观结构的模拟
【摘 要】
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文章从物理统计规则观点出发，研究了微观溅射粒子的动力学沉积过程，着重考虑到真空度、基片温度、溅射角度等因素对沉积的影响，模拟研究了Ｂ．Ａ．Ｍｏｖｃｈａｎ－Ａ．Ｖ．Ｄｅｍｃｈｉｓｈｉｎ的溅射微观结构关系图。
【机 构】
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合肥工业大学应用物理系
【出 处】
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合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年3期
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