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期刊论文
AlGaInP/Si的键合研究
AlGaInP/Si的键合研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liu0686
【摘 要】
:
金锡(AuSn)合金作为粘合介质,实现了AlGaInP/Si的异质键合.在室温下键合样品的I-V特性表明AuSn合金对载流子通过界面未见不良影响,截面的显微照片表明键合质量良好.反射谱测
【作 者】
:
郭德博
梁萌
范曼宁
刘志强
王良臣
王国宏
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2007年z1期
【关键词】
:
键合
ALGAINP
I-V特性
金锡合金
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金锡(AuSn)合金作为粘合介质,实现了AlGaInP/Si的异质键合.在室温下键合样品的I-V特性表明AuSn合金对载流子通过界面未见不良影响,截面的显微照片表明键合质量良好.反射谱测试表明键合合金层可以作为反射器,这一特征是AlGaInP发光器件与Si集成的有利条件.
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