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微型技术及其相邻的工艺，为以发电和电场评价为基础的元件，开辟了许多新应用的可能性。本文介绍一种设计完备的微型技术构造的静电驱动装置。从有限元件计算出发，根据工艺上生产可能性设计了这些元件，并对结构与作用方式作了详细的说明。
微型技术中的并联驱动系统——传感技术、致动技术与导向的集成
【摘 要】
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微型技术及其相邻的工艺，为以发电和电场评价为基础的元件，开辟了许多新应用的可能性。本文介绍一种设计完备的微型技术构造的静电驱动装置。从有限元件计算出发，根据工艺上生产
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年2期
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