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介绍了微机电系统的概念,和微机电系统的优点及发展前景。分别阐述了微机电系统的的加工工艺。
微机电系统(MEMS)的加工工艺
【摘 要】
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介绍了微机电系统的概念,和微机电系统的优点及发展前景。分别阐述了微机电系统的的加工工艺。
【机 构】
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郑州市技师学院
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2011年20期
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