【摘 要】
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介绍了微机电系统的概念,和微机电系统的优点及发展前景。分别阐述了微机电系统的的加工工艺。
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介绍了微机电系统的概念,和微机电系统的优点及发展前景。分别阐述了微机电系统的的加工工艺。
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