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现代微加工技术是制备具有微米，亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术，图形技术以及刻蚀技术，根据核靶技术的发展，阐明了现代微加工技术在核靶制备领域的广阔应用前景。
现代微加工技术与核靶制备
【摘 要】
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现代微加工技术是制备具有微米，亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术，图形技术以及刻蚀技术，根据核靶技术的发展，阐明了现代微加工技术在核
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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1996年1期
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