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现代微加工技术与核靶制备
现代微加工技术与核靶制备
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:r54321
【摘 要】
:
现代微加工技术是制备具有微米,亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术,图形技术以及刻蚀技术,根据核靶技术的发展,阐明了现代微加工技术在核
【作 者】
:
王珏
【机 构】
:
同济大学波耳固体物理研究所
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
微加工
薄膜
图形技术
刻蚀
核靶制备
Microfabrication Thin film Pattern process Etching process N
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现代微加工技术是制备具有微米,亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术,图形技术以及刻蚀技术,根据核靶技术的发展,阐明了现代微加工技术在核靶制备领域的广阔应用前景。
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