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医用直线加速器具有能量选择灵活性强、剂量分布均匀有效、可调照射野范围广等良好的治疗特性,被广泛运用于肿瘤放射治疗领域[1],其主要由加速管部分、微波控制部分、电子发射部分3大核心控制系统组成[2],微波频率自动控制(automatic frequency control,AFC)系统作为协调射频源输出频率与加速管谐振腔内谐振频率一致性的核心部件,起到固定纠正微波工作频率的作用。