面向亚毫米级微粒的遥操作系统设计

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本文介绍了适用于微靶装配的遥操作机器人系统及其关键技术,包括对亚毫米级微粒物体进行微操作的真空吸附装置的工作原理、构成和控制;适合于微靶装配要求的高精度机械手的运动控制;以及基于网络的遥操作技术等。
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