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日本一家公司制成了一种纯度为99．9999％的高纯钛。利用这种高纯度钛可以制造半导体基板上的氮化钛薄膜。使用这种氮化钛薄膜可以避免因硅铜基板上的杂质而产生的故障。此外，这种高纯度钛还可用来制造多种工业用高精密度零部件。
高纯度钛
【摘 要】
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日本一家公司制成了一种纯度为99．9999％的高纯钛。利用这种高纯度钛可以制造半导体基板上的氮化钛薄膜。使用这种氮化钛薄膜可以避免因硅铜基板上的杂质而产生的故障。此外，这种
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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2005年3期
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