【摘 要】
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采用磁控溅射方法制备FeCoV薄膜作为电流传感器中的磁敏材料。采用应变片法测量了FeCoV合金的磁致伸缩曲线,其饱和磁致伸缩系数约97×10-6;扫描电镜观察发现FeCoV薄膜致密度良好,颗粒均匀连续,断面形貌图可以看出薄膜呈柱状结构生长。FeCoV薄膜样品呈(110)取向生长,呈现明显的单轴各向异性。实验发现,FeCoV合金的磁致伸缩曲线与电流传感器的电流响应曲线趋势一致,具有线性区域,这些特性都为获得高灵敏度的磁传感器创造了条件。采用80 MHz的声表面波反射延迟线制备了电流传感
【机 构】
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钢铁研究总院功能材料研究所,中国科学院声学研究所
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采用磁控溅射方法制备FeCoV薄膜作为电流传感器中的磁敏材料。采用应变片法测量了FeCoV合金的磁致伸缩曲线,其饱和磁致伸缩系数约97×10-6;扫描电镜观察发现FeCoV薄膜致密度良好,颗粒均匀连续,断面形貌图可以看出薄膜呈柱状结构生长。FeCoV薄膜样品呈(110)取向生长,呈现明显的单轴各向异性。实验发现,FeCoV合金的磁致伸缩曲线与电流传感器的电流响应曲线趋势一致,具有线性区域,这些特性都为获得高灵敏度的磁传感器创造了条件。采用80 MHz的声表面波反射延迟线制备了电流传感
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