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将行星传动机构应用于离子注入机中,使得受注物体受注均匀,明显提高了产品的表面质量.
离子注入机中行星传动扫描靶的设计
【摘 要】
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将行星传动机构应用于离子注入机中,使得受注物体受注均匀,明显提高了产品的表面质量.
【机 构】
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漯河职业技术学院机电工程系,天津大学机械工程学院
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2006年6期
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