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设计了一种新型Zn O微气体传感器的结构,利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析,并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化,结果得出:当传感器基底中前Si O_2层、中间Si层、后Si O_2层的厚度分别为10,140和150μm,加热电极和测量电极宽度均为30μm,加热电极的间距为100μm,此时传感器的Zn O材料工作区域可获得最佳的温度分布和磁场分布,有利于传感器整体性能的提高。