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俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用
俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用
来源 :机械工艺师 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jazz988
【摘 要】
:
介绍俄歇电子能谱仪的测试原理,举例说明在失效分析中的应用.
【作 者】
:
盛国裕
杨其华
俞杭芳
【机 构】
:
中国计量学院
【出 处】
:
机械工艺师
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
失效分析
俄歇电子能谱仪
表面成分分析
Auger electron spectroscopy apparatusFailure analysis
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介绍俄歇电子能谱仪的测试原理,举例说明在失效分析中的应用.
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